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著者名神永 惇, 滝口亮, 鈴木 慶太郎, 菱田 俊一, 関口 隆史, 村上浩一, 深田 直樹.
タイトルシリコンナノワイヤ中のP原子の熱酸化過程での偏析挙動
(Segregation behavior of phosphorus atoms in silicon nanowires during thermal oxidation)
会議名第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年2013
言語Japanese
外部での文献参照

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