SiO2の電子線照射損傷への表面炭素汚染の影響
(Surface damage on SiO2/Si specimen caused by electron beam irradiation, about effect of surface pollution)
第54回応用物理学関係連合講演会. 2007年03月27日-2007年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:52:27 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:52:21 +0900