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著者名高本聡, 山崎 隆浩, 大野 隆央, 金田千穂子, 泉聡志, 酒井信介.
タイトル電荷移動型分子動力学法によるSi/SiO2界面酸化シミュレーション
(Charge-transfer type classical molecular dynamics for oxidation of Si/SiO2 interface)
会議名応用物理学会秋季学術講演会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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