電荷移動型分子動力学法によるSi/SiO2界面酸化シミュレーション
(Charge-transfer type classical molecular dynamics for oxidation of Si/SiO2 interface)
応用物理学会秋季学術講演会. 2015.
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作成時刻: 2017-01-08 04:30:46 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:18:46 +0900