FIB-CVD法により堆積したDLC薄膜の熱処理による構造変化
(Annealing Influence on Crystal Structure of Diamond-Like Carbon Thin Film Fabricated by FIB-CVD)
2008年春季 第55回応用物理学関係連合講演会 . 2008年03月27日-2008年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:39:14 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:09:59 +0900