フォトリソグラフィー法を用いたREBCOマルチフィラメント薄膜の開発
(Development of REBCO patterned multi-filamentary thin film using photolithography method)
第84回応用物理学会秋季学術講演会. 2023.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-10-14 03:08:36 +0900更新時刻: 2023-10-14 03:08:36 +0900