酸化クロム処理によるステンレス鋼低ガス放出表面の作製 |

酸化クロム処理によるステンレス鋼低ガス放出表面の作製
(Low outgas surface treatment on Stainless steel using segregated chromium oxide layer)

著者	板倉明子, 土佐正弘, 矢ヶ部太郎, 笠原章, 清水健一, 宮田敏光, 前原美津雄, 進藤豊彦.
会議名	第56回真空に関する連合講演会（2015年真空・表面科学合同講演会）
発表年	2015
言語	Japanese