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スパッタ法で合成したドナー添加酸化スズ薄膜のガスセンサ特性
(Gas sensor characteristics of donor doped tin dioxide thin film synthesized by sputtering method)

著者坂口 勲, 齋藤 紀子, 鈴木 拓.
会議名日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム
発表年2021
言語Japanese

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