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スパッタ法で合成したドナー添加酸化スズ薄膜のガスセンサ特性
(Gas sensor characteristics of donor doped tin dioxide thin film synthesized by sputtering method)
日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム. 2021.
NIMS author(s)
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Created at: 2021-12-11 03:39:40 +0900Updated at: 2021-12-11 03:39:40 +0900