In液滴をマスクにしたウエットエッチングによるサブミクロンサイズのGaAs/AlAs共鳴トンネルダイオードの作製
(Fabrication of Sub-Micron GaAs/AlAs Double-Barrier Resonant Tunneling Diodes by Wet Etching with In Droplets as a Mask)
第６８回 応用物理学会 学術講演会. 2007.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:23:45 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:58:33 +0900