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In液滴をマスクにしたウエットエッチングによるサブミクロンサイズのGaAs/AlAs共鳴トンネルダイオードの作製
(Fabrication of Sub-Micron GaAs/AlAs Double-Barrier Resonant Tunneling Diodes by Wet Etching with In Droplets as a Mask)
第６８回 応用物理学会 学術講演会. September 04, 2007-September 08, 2007.
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Created at: 2017-02-14 11:23:45 +0900 Updated at: 2017-07-10 19:58:33 +0900