Improvement of phosphorus doping efficiency by exhaust gas flow modifications of microwave CVD system
JSPS-CNRS diamond detector WS 2019. 2019年10月29日-2019年11月01日.
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作成時刻: 2020-01-18 03:00:24 +0900 更新時刻: 2020-01-18 03:00:24 +0900