マグネトロンスパッタ共蒸着法を用いた超高真空中における窒化ホウ素－銅混合低摩擦コーティング
(Low frictional force coating of boron nitride-copper complex for ultra high vacuum by magnetron co-sputtering technique.)
AVS 48th International Symposium. 2001年10月29日-2001年11月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:23:40 +0900 更新時刻: 2018-05-21 18:45:35 +0900