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著者名小山 洋, 山崎 隆浩, 奈良 純, 清水 達雄, 大野 隆央.
タイトル4H-SiC(0001)Si 面及び(000-1)C 面、 それぞれの酸化反応の動的シミュレーション
(Molecular Dynamics study on oxidation processes on 4H-SiC(0001) and (000-1) surfaces)
会議名日本応用物理学会2014年春季年会
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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