4H-SiC(0001)Si 面及び(000-1)C 面、 それぞれの酸化反応の動的シミュレーション
(Molecular Dynamics study on oxidation processes on 4H-SiC(0001) and (000-1) surfaces)
日本応用物理学会2014年春季年会. 2014年03月17日-2014年03月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:55:16 +0900 更新時刻: 2018-06-05 13:34:35 +0900