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Si上無極性AlN成長への高N₂スパッタガス流量の効果
(Effects of high N₂ sputtering gas ratio on the growth of non-polar AlN on Si)

森田 雅也, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, 上田 茂典, 知京 豊裕, 小椋 厚志, 長田 貴弘.
2021年 第82回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2021年09月10日-2021年09月13日.

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    作成時刻: 2023-03-21 03:32:50 +0900更新時刻: 2023-03-21 03:32:50 +0900

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