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Si上無極性AlN成長への高N₂スパッタガス流量の効果
(Effects of high N₂ sputtering gas ratio on the growth of non-polar AlN on Si)
2021年 第82回 応用物理学会 秋季学術講演会. September 10, 2021-September 13, 2021.
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Created at: 2023-03-21 03:32:50 +0900Updated at: 2023-03-21 03:32:50 +0900