HfO2ゲートスタックにおける(TaC)1-xAlx電極のAl原子がVfbに果たす役割
(Role of Al atoms in (TaC)1-xAlx gate electrode on Vfb for HfO2 gate stack)
2011 SSDM. 2011年09月28日-2011年09月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:37:28 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:06:01 +0900