Ti1-X(Nb/Ta)XO2透明導電膜のNb/Taアロイが光学・電気特性に及ぼす影響
(The effect of Nb/Ta alloy on optical and electrical properties in Ti1-X(Nb/Ta)XO2 transparent conductive oxide film)
日本金属学会2012年春期(第150回)大会. 2012.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:30:43 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:04:20 +0900