SiOCH膜の膜特性へのSi-H原子団除去効果：理論的研究
(Si-H Group Elimination Effect on the Properties of SiOCH Films: Theoretical Study)
SSDM 2008. 2008年09月24日-2008年09月26日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:11:00 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:18:02 +0900