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次世代ナノスケール半導体用材料物性の点欠陥依存性分析
(Synchrotron-Radiation Photoemission Spectroscopy of Point Defects-Induced Damages of Materials Used for Nano-Scale Semiconductor Devices)

三浦英生, 鈴木研, 寒川誠二, 吉川 英樹, 上田 茂典, 山下 良之, 小林 啓介.
平成19年度ナノネット放射光利用研究成果報告会. 2008.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 10:53:09 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:12:03 +0900

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