次世代ナノスケール半導体用材料物性の点欠陥依存性分析
(Synchrotron-Radiation Photoemission Spectroscopy of Point Defects-Induced Damages of Materials Used for Nano-Scale Semiconductor Devices)
平成19年度ナノネット放射光利用研究成果報告会. 2008-05-07.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 10:53:09 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:12:03 +0900