PLD法で作製したSnO2薄膜のセンサ特性の膜厚依存性
(Thickness Dependence of Sensing Performances of SnO2 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition)
ICC 3rd International Congress on Ceramics. 2010年11月14日-2010年11月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:00:50 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:52:22 +0900