Diamond MEMS Resonator with Integrated Electrical Readout for Infrared Sensing
The 12th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS 2026). 2026年10月11日-2026年10月15日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-10-22 03:07:01 +0900 更新時刻: 2026-10-22 03:07:01 +0900