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先端CMOS向けメタル/High-kゲートスタック技術
(Metal/High-k Gate Stack Technology for Advanced CMOS)
第76回半導体・集積回路技術シンポジウム. 2012. Invited
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:19:31 +0900Updated at: 2024-03-05 11:44:02 +0900