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著者名廖 梅勇, ウ ハイファ, サン リウエン, 井村 将隆, 寺地 徳之.
タイトルThe Effect of Annealing in Oxygen Ambient on the Single Crystal Diamond Mechanical Resonetors
会議名第64回応用物理学会春季学術講演会
発表年2017
言語Japanese
外部での文献参照

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