AlN/SiCテンプレート上にヘテロ成長したGaN-HEMT構造の特性評価
(Fabrication and characterization of GaN-HEMT grown on AlN/SiC templates)
第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-12-23 15:44:58 +0900更新時刻: 2021-12-23 15:44:58 +0900