HOME > Presentation > DetailAlN/SiCテンプレート上にヘテロ成長したGaN-HEMT構造の特性評価(Fabrication and characterization of GaN-HEMT grown on AlN/SiC templates)Author(s)角谷 正友, 後藤修, サン リウエン, 高原 悠希, 上殿明良, 今中 康貴, 今野泰一郎, 堀切文正, 木村健司, 藤倉序章. Event name第82回応用物理学会秋季学術講演会Year of publication2021LanguageJapanese