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AlN/SiCテンプレート上にヘテロ成長したGaN-HEMT構造の特性評価
(Fabrication and characterization of GaN-HEMT grown on AlN/SiC templates)

著者角谷 正友, 後藤修, サン リウエン, 高原 悠希, 上殿明良, 今中 康貴, 今野泰一郎, 堀切文正, 木村健司, 藤倉序章.
会議名第82回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2021
言語Japanese

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