Microstructure of AlN layer on (001) and (111) diamond substrates by metalorganic vapor phase epitaxy
((001)、(111)ダイヤモンド基板上へのAlNの成長と評価)
MANA International Symposium 2010. 2010.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 10:58:58 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:43:56 +0900