CVD装置改良によるダイヤモンドの高濃度リンドーピング
(Heavily phosphorus doping of diamond by improved MPCVD system)
第33回ダイヤモンドシンポジウム. 2019.
NIMS著者
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作成時刻: 2020-01-18 03:00:23 +0900更新時刻: 2020-01-18 03:00:23 +0900