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CVD装置改良によるダイヤモンドの高濃度リンドーピング
(Heavily phosphorus doping of diamond by improved MPCVD system)
第33回ダイヤモンドシンポジウム. November 13, 2019-November 15, 2019.
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Created at: 2020-01-18 03:00:23 +0900 Updated at: 2020-01-18 03:00:23 +0900