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InGaN薄膜表面に形成されたピットのCLと不純物との相関

著者豊満 直樹, 原田 善之, サン リウエン, 関口 隆史, 山口智広, 本田徹, 角谷 正友.
会議名第62回応用物理学会春季学術講演会
発表年2015
言語Japanese

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