(AB INITIO STUDY OF DEPOSITION OF CUBIC BORON NITRIDE THIN FILMS)
16th INTERNATIONAL VACUUM CONGRESS. 2004年06月28日-2004年07月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-25 00:44:11 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:05:52 +0900