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著者名KOGA, Hiroaki, MIYAZAKI, Tsuyoshi, 渡邊聡, OHNO, Takahisa.
タイトルAB INITIO STUDY OF DEPOSITION OF CUBIC BORON NITRIDE THIN FILMS
会議名16th INTERNATIONAL VACUUM CONGRESS
発表年2004
言語English
外部での文献参照

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