単結晶ダイヤモンド上の強誘電体ＰＺＴ薄膜の堆積
(Integration of piezoelectric Pb (Ti0.52, Zr0.48)O3 on single crystal diamond)
2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会 . 2010年03月17日-2010年03月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:11:59 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:44:54 +0900