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Si(111)基板上AlxGa1-xN薄膜の硬X線光電子分光
(Hard x-ray photoelectron spectroscopy for AlGaN film grown on Si (111) substrate by MOCVD)

著者角谷 正友, 大橋 直樹, 加茂佑太郎, 竹口 雅樹, 吉川 英樹, 上田 茂典, 小林 啓介, 中野貴之, 福家俊郎.
会議名2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会
発表年2009
言語Japanese

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