マイクロマシン応力センサに向けた単結晶ダイヤモンド上のＰＺＴ薄膜成長
(The integration of PZT thin film on single crystal diamond for MEMS pressure sensor)
第24回ダイヤモンドシンポジウム. 2010年11月17日-2010年11月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:08:19 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:56:33 +0900