(TaC)1-xAlx/HfO2 MOSキャパシタでVfbシフトへ及ぼすAl原子の役割
(Role of Al atoms in (TaC)1-xAlx on Vfb shift for HfO2 MOS capacitor)
The Eighth International Nanotechnology Conference on Communicat. 2012.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:21:55 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:20:33 +0900