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著者名深田 直樹, 滝口亮, 石田慎哉, 横野茂樹, 関口 隆史, 村上浩一.
タイトルシリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物の挙動
(Doping and behaviors of impurity atoms in silicon nanowires)
会議名シリコン材料・デバイス研究会
発表年2012
言語Japanese
外部での文献参照

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