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シリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物の挙動
(Doping and behaviors of impurity atoms in silicon nanowires)
シリコン材料・デバイス研究会. 2012. Invited
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-01-08 04:19:23 +0900Updated at: 2024-03-05 11:44:02 +0900