フラックス膜成長法 (FFC sputtering) によるAlN結晶成長
(Growth of AlN single crystals using Flux-Film-Coated Sputtering technique)
2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-04-13 03:00:24 +0900更新時刻: 2021-04-13 03:00:24 +0900