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フラックス膜成長法 (FFC sputtering) によるAlN結晶成長
(Growth of AlN single crystals using Flux-Film-Coated Sputtering technique)

著者ソン イェリン, 川村 史朗, 大橋 直樹, 島村 清史.
会議名2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会
発表年2021
言語Japanese

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