HOME > Presentation > Detailフラックス膜成長法 (FFC sputtering) によるAlN結晶成長(Growth of AlN single crystals using Flux-Film-Coated Sputtering technique)ソン イェリン, 川村 史朗, 大橋 直樹, 島村 清史. 2021年 第68回応用物理学会春季学術講演会. 2021.NIMS author(s)KAWAMURA, FumioOHASHI, NaokiSHIMAMURA, KiyoshiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2021-04-13 03:00:24 +0900Updated at: 2021-04-13 03:00:24 +0900