HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Si microfabrication using metastable atoms beam and self-assembled monolayer張 建武, 倉橋 光紀, 鈴木 拓, 孫 霞, 山内 泰. JSAP Annual Meeting. 2006年03月22日-2006年03月26日.NIMS著者倉橋 光紀鈴木 拓Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 03:58:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:32:34 +0900
