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著者名山崎 隆浩, 小山洋, 奈良 純, 清水達雄, 加藤弘一, 大野 隆央.
タイトル4H-SiC(0001)表面酸化過程の動的シミュレーションおよび第一原理解析
(Dynamical Simulations and First-Principles Analyses of Oxidation Processes on 4H-SiC(0001) Surfaces)
会議名第75回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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