(Al,Sc)N 薄膜中に含まれる不純物酸素の光電子分光評価
(X-ray photoelectron spectroscopy analyses of oxygen impurities in (Al,Sc)N films)
第42回電子材料研究討論会. 2022.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-01-05 12:15:42 +0900更新時刻: 2023-01-05 12:15:42 +0900