SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

(Al,Sc)N 薄膜中に含まれる不純物酸素の光電子分光評価
(X-ray photoelectron spectroscopy analyses of oxygen impurities in (Al,Sc)N films)

著者長谷川 浩太, 大澤 健男, 清水 荘雄, 坂口 勲, 大橋 直樹.
会議名第42回電子材料研究討論会
発表年2022
言語Japanese

▲ページトップへ移動