HOME > 口頭発表 > 詳細(Al,Sc)N 薄膜中に含まれる不純物酸素の光電子分光評価(X-ray photoelectron spectroscopy analyses of oxygen impurities in (Al,Sc)N films)著者長谷川 浩太, 大澤 健男, 清水 荘雄, 坂口 勲, 大橋 直樹. 会議名第42回電子材料研究討論会発表年2022言語Japanese