HOME > Presentation > Detail(Al,Sc)N 薄膜中に含まれる不純物酸素の光電子分光評価(X-ray photoelectron spectroscopy analyses of oxygen impurities in (Al,Sc)N films)長谷川 浩太, 大澤 健男, 清水 荘雄, 坂口 勲, 大橋 直樹. 第42回電子材料研究討論会. 2022.NIMS author(s)OHSAWA, TakeoSHIMIZU, TakaoSAKAGUCHI, IsaoOHASHI, NaokiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2023-01-05 12:15:42 +0900Updated at: 2023-01-05 12:15:42 +0900