傾斜ホルダーを利用したオージェ電子分光法による角度分解計測および低角度イオン入射深さ方向分析の検討
(An ultra high resolution depth profiling method and angle resolved measurements by AES using a inclined holder. )
第２８回表面科学学術講演会. 2008年11月13日-2008年11月15日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:46:56 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:20:44 +0900