スパッタ法で作製した(Al,Sc)N薄膜中の不純物酸素の検討
(Study on oxygen impurity in (Al,Sc)N thin films fabricated by sputtering technique)
2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022年09月20日-2022年09月23日.
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作成時刻: 2023-01-05 12:15:42 +0900更新時刻: 2023-01-05 12:15:42 +0900