HOME > 口頭発表 > 書誌詳細スパッタ法で作製した(Al,Sc)N薄膜中の不純物酸素の検討(Study on oxygen impurity in (Al,Sc)N thin films fabricated by sputtering technique)長谷川 浩太, 清水 荘雄, 大澤 健男, 坂口 勲, 大橋 直樹. 2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022.NIMS著者清水 荘雄大澤 健男坂口 勲大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2023-01-05 12:15:42 +0900 更新時刻 :2023-01-05 12:15:42 +0900