SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

スパッタ法で作製した(Al,Sc)N薄膜中の不純物酸素の検討
(Study on oxygen impurity in (Al,Sc)N thin films fabricated by sputtering technique)

2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2023-01-05 12:15:42 +0900更新時刻: 2023-01-05 12:15:42 +0900

    ▲ページトップへ移動