HOME > Presentation > Detailスパッタ法で作製した(Al,Sc)N薄膜中の不純物酸素の検討(Study on oxygen impurity in (Al,Sc)N thin films fabricated by sputtering technique)長谷川 浩太, 清水 荘雄, 大澤 健男, 坂口 勲, 大橋 直樹. 2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022.NIMS author(s)SHIMIZU, TakaoOHSAWA, TakeoSAKAGUCHI, IsaoOHASHI, NaokiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at :2023-01-05 12:15:42 +0900 Updated at :2023-01-05 12:15:42 +0900