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レーザー基板加熱MOCVD法によるZnO薄膜の作製
(ZnO Film Grown by MOCVD Method Equipped with the Laser Heating System)

著者藤本 英司, 角谷 正友, リップマー ミック, 大西 剛, 渡邊 賢司, 鯉沼 秀臣.
会議名The 14th International Workshop on Oxide Electronics
発表年2007
言語Japanese

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