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著者名白石賢二, 梅澤 直人, 宮崎誠一, 上殿明良, 赤坂泰志, 犬宮誠治, 籾田 浩義, 大野 隆央, 大毛利 健治, 奈良安雄, 知京 豊裕.
タイトルHfSiON膜中におけるSi-N結合の形成と結晶化抑制のメカニズム
(Mechanism for suppression of crystallization by Si-N bond formation in HfSiON)
会議名2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会
発表年2006
言語Japanese
外部での文献参照

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