分子線エピタキシー法によりMgO(100)基板上に作製したScN薄膜における電気特性の成長条件依存性
(Growth condition dependence of electric properties of ScN films on (100) MgO substrates prepared by molecular beam epitaxy)
17th International Conference on Crystal Growth and Epitaxy. 2013年08月11日-2013年08月16日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:33:22 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:37:15 +0900