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著者名YAKABE, Taro, IMAMURA, Gaku, YOSHIKAWA, Genki, ITAKURA, Akiko.
タイトルHydrogen gas detection using Membrane-type Surface Stress Sensor
(膜型表面ストレスセンサーを用いての水素ガス検出)
会議名8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8)
発表年2017
言語English
外部での文献参照

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